真空稀释研磨泵是在箱体曲轴下方设有磁性过滤器,以吸附润滑油中的铁磁性杂质。真空稀释研磨泵在进液腔盖上方设有放气孔,以放尽该腔内空气。在进液腔盖下方设有防冻放液孔,可放尽进液腔内液体。真空稀释研磨泵显示的油压是变化的,当冷油时(刚开真空稀释研磨泵时)油压较高,有时可>1MPa,随着油温升高,油粘度下降,油压也下降,但只要≮0.1MPa即为正常。安全阀是真空稀释研磨泵的过载保护元件,为二级卸压直动式锥阀。
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